Kapazitive Messstruktur mit eingebetteten Akustikkanälen
Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2810915
- Aktenzeichen
- EP14250079
- Anmeldetag
- 30. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 17. August 2016
- Erteilung
- 17. August 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00
Abstract
A MEMS device includes a dual membrane (12,14), an electrode (24), and an interconnecting structure (26). The dual membrane has a top membrane (12) and a bottom membrane (14). The bottom membrane is positioned between the top membrane and the electrode and the interconnecting structure defines a spacing between the top membrane and the bottom membrane.
Anmelder
- Firma
- InvenSense, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.
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