Herstellungssystem für Endlosprodukte mit einer Reinraum-Auftragszone und einem Getrennten Behandlungsraum

EP2812129 Art B1 13. April 2016

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2812129
Aktenzeichen
EP13704833
Anmeldetag
6. Februar 2013
Veröffentlichung
13. April 2016
Erteilung
13. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67B05C9/14B05B13/02B05C9/08B05D1/38B05D3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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