Optisches Bildformungssystem, Bildgebungsvorrichtung, Profilmessvorrichtung, Strukturherstellungssystem und Strukturherstellungsverfahren

EP2812648 Art B1 11. August 2021

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2812648
Aktenzeichen: EP13707459
Anmeldetag: 6. Februar 2013
Veröffentlichung: 11. August 2021
Erteilung: 11. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G02B27/00G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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