Borionenimplantation unter Verwendung alternativer fluorierter Borvorläufer und Bildung großer Borhydride für die Implantation

EP2813294 Art A1 17. Dezember 2014

Anmelder: ENTEGRIS INC., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2813294
Aktenzeichen: EP14179325
Anmeldetag: 30. August 2006
Veröffentlichung: 17. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: B05D3/06C23C14/14C23C14/24C23C14/46C23C14/48H01L21/265H01L21/425H01J37/08H01J37/317

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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