MEMS-Vorrichtung mit Getterschicht

EP2813465 Art B1 15. Januar 2020

Anmelder: Tronic's Microsystems, Tronics Microsystems S.A. 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2813465
Aktenzeichen
EP13290136
Anmeldetag
12. Juni 2013
Veröffentlichung
15. Januar 2020
Erteilung
15. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B81B7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tronic's Microsystems
Tronics Microsystems S.A.
Land
🇫🇷 Frankreich
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