Verfahren zur Herstellung eines Anorganischen Polysilazanharzes

EP2813467 Art B1 15. September 2021

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2813467
Aktenzeichen
EP13746247
Anmeldetag
1. Februar 2013
Veröffentlichung
15. September 2021
Erteilung
15. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/316C01B21/087C01B33/08C01B33/12C08G77/62C09D183/16C23C18/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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