Tiegel für Gasphasenabscheidung, Vorrichtung zur Gasphasenabscheidung und Verfahren zur Gasphasenabscheidung

EP2813597 Art A1 17. Dezember 2014

Anmelder: Nitto Denko Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2813597
Aktenzeichen: EP12868093
Anmeldetag: 11. September 2012
Veröffentlichung: 17. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24H01L51/50H05B33/10C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nitto Denko Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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