Haltevorrichtung für einen Substrathalter zur vertikalen galvanischen Metallabscheidung auf einem zu behandelnden Substrat und ein Substrathalter zur Einführung in solch eine Vorrichtung

EP2813602 Art A1 17. Dezember 2014

Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2813602
Aktenzeichen
EP13171962
Anmeldetag
14. Juni 2013
Veröffentlichung
17. Dezember 2014
Rechtsraum
EP
IPC
C25D17/06C25D17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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