Messeinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2813802

Aktenzeichen

EP14169847

Anmeldetag

26. Mai 2014

Veröffentlichung

23. Oktober 2019

Erteilung

23. Oktober 2019

Rechtsraum

EP

IPC

G01B9/02

Abstract

Es wird eine Messeinrichtung zur hochpräzisen optischen Abstands- oder Positionsbestimmung angegeben. Diese umfasst eine Lichtquelle, mindestens ein optisches Funktionselement, ausgebildet als Planspiegel oder als Maßverkörperung, und eine Detektoranordnung. Es erfolgt eine Erzeugung von mindestens zwei Teilstrahlenbündeln, von denen zumindest eines das Funktionselement mindestens drei Mal beaufschlagt, bevor die Teilstrahlenbündel interferierend überlagert in Richtung der Detektoranordnung propagieren, über die mindestens ein phasencodiertes Messsignal aus den überlagerten Teilstrahlenbündeln erzeugbar ist. Das Teilstrahlenbündel durchläuft zwischen dem Beaufschlagen des optischen Funktionselements mindestens zwei Abbildungselemente, wobei die Abbildungselemente Abbildungsfaktoren dergestalt aufweisen, dass keine Orts- und Richtungsscherung der interferierenden Teilstrahlenbündel bei einer Verkippung des optischen Funktionselements aus seiner Solllage resultiert (Fig. 3).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete