Erzeugung einer Zeitveränderlichen Intensitätskarte für Gitternetze
EP2815422
Art A1
24. Dezember 2014
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2815422
- Aktenzeichen
- EP13748706
- Anmeldetag
- 14. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte