Belichtungsvorrichtung, Verfahren zur Entfernung einer Flüssigkeit, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2816410 Art B1 17. August 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2816410
Aktenzeichen: EP14175406
Anmeldetag: 27. August 2004
Veröffentlichung: 17. August 2016
Erteilung: 17. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von