Herstellungsverfahren einer mechanisch autonomen mikroelektronischen Vorrichtung
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2816597
- Aktenzeichen
- EP14172271
- Anmeldetag
- 13. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/498H01L21/48
Abstract
L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif microélectronique mécaniquement autonome (10) comprenant au moins un via électrique (50) autorisant une connexion électrique à partir d'au moins une première face du dispositif caractérisé en ce qu'il comprend la séquence d'étapes suivantes : - à partir d'un premier substrat (100) comportant une première portion (51) de via électrique (50) exposée à une première face du premier substrat (100), et d'un deuxième substrat (200) comportant une deuxième portion (52) de via électrique (50) exposée à une première face du deuxième substrat (200), une étape de report du premier substrat (100) sur le deuxième substrat (200), par collage de leurs premières faces de sorte à ce que la première portion (51) et la deuxième portion (52) de via électrique (50) soient en continuité électrique, - une étape de retrait partiel d'une partie du premier substrat (100) à partir d'une deuxième face du premier substrat (100), opposée à la première face dudit premier substrat (100), de sorte à atteindre la première portion (51) de via électrique (50).
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.