EUV-Entladungslampe mit beweglicher Schutzkomponente
EP2816876
Art B1
3. Februar 2016
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha, USHIO Denki Kabushiki Kaisha, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2816876
- Aktenzeichen
- EP13003177
- Anmeldetag
- 21. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 3. Februar 2016
- Erteilung
- 3. Februar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
USHIO Denki Kabushiki Kaisha
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Dr. Roland Gagel
München, Deutschland
563
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte