System und Verfahren zur Abgabe von Flüssigkeit

EP2817555 Art B1 3. April 2019

Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2817555
Aktenzeichen
EP13751797
Anmeldetag
22. Februar 2013
Veröffentlichung
3. April 2019
Erteilung
3. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
F17C9/00B67D7/00F17C7/00H01L21/02B67D7/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen