System und Verfahren zur Abgabe von Flüssigkeit

EP2817555 Art B1 3. April 2019

Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2817555
Aktenzeichen: EP13751797
Anmeldetag: 22. Februar 2013
Veröffentlichung: 3. April 2019
Erteilung: 3. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: F17C9/00B67D7/00F17C7/00H01L21/02B67D7/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Entegris, Inc.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von