Optische Sensorvorrichtung für Kritische Winkel
EP2817611
Art B1
23. November 2022
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris-Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2817611
- Aktenzeichen
- EP13751380
- Anmeldetag
- 15. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 23. November 2022
- Erteilung
- 23. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/41G01N21/43// G01N21/552
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris-Jetalon Solutions, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Betten & Resch
Betten & Resch · München