Stationsanordnung zur Bearbeitung Und/oder Vermessen von Halbleiterscheiben sowie Bearbeitungsverfahren

EP2817822 Art A1 31. Dezember 2014

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2817822
Aktenzeichen: EP13705481
Anmeldetag: 22. Februar 2013
Veröffentlichung: 31. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/67H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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