Verdampfungsvorrichtung mit Gaszufuhr

EP2818572 Art B1 13. November 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2818572
Aktenzeichen: EP13174290
Anmeldetag: 28. Juni 2013
Veröffentlichung: 13. November 2019
Erteilung: 13. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/24C23C14/56C23C14/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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