Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2818574 Art B1 5. Juni 2019

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2818574
Aktenzeichen
EP13752289
Anmeldetag
15. Februar 2013
Veröffentlichung
5. Juni 2019
Erteilung
5. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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