Zylinderförmiges Indiumsputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP2818575 Art B1 30. Mai 2018

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2818575
Aktenzeichen
EP13831560
Anmeldetag
31. Januar 2013
Veröffentlichung
30. Mai 2018
Erteilung
30. Mai 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/16C23C14/34C22F1/16H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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