Verfahren zur Entfernung einer Hochauflösenden Nanostruktur, Teilweise Freistehende Schicht, Sensor mit Dieser Schicht und Verfahren zur Verwendung eines Solchen Sensors
EP2823358
Art A1
14. Januar 2015
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2823358
- Aktenzeichen
- EP13710624
- Anmeldetag
- 4. März 2013
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/20G01N33/487H01L29/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
569 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Vogels, Leonard Johan Paul
Overasselt, Niederlande
106
Patente gesamt
27
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte