Spiegel für Euv-Wellenlängenbereich, Verfahren zur Herstellung Solch eines Spiegels und Projektionsbelichtungsvorrichtung mit Solch einem Spiegel

EP2823490 Art A1 14. Januar 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2823490
Aktenzeichen: EP13716191
Anmeldetag: 6. März 2013
Veröffentlichung: 14. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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