Reflektives optisches Element für streifenden Einfall im EUV-Wellenlängenbereich

EP2824487 Art B1 19. Januar 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Laser Optics GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2824487
Aktenzeichen: EP14173867
Anmeldetag: 25. Juni 2014
Veröffentlichung: 19. Januar 2022
Erteilung: 19. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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