Verfahren zum Betrieb eines Partikelstrahlmikroskops und ein Partikelstrahlmikroskop

EP2824690 Art A3 8. April 2015

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2824690
Aktenzeichen
EP14002357
Anmeldetag
9. Juli 2014
Veröffentlichung
8. April 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/02H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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