Verfahren zur Selektiven Beseitigung von Veraschtem Spin-Glas
EP2826062
Art A1
21. Januar 2015
Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, ATMI Taiwan Co., Ltd. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2826062
- Aktenzeichen
- EP13761236
- Anmeldetag
- 12. März 2013
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/311C09K13/08C11D11/00C11D7/08C11D7/10C11D7/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
ATMI Taiwan Co., Ltd. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
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34
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Schwerpunkte
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Greaves Brewster LLP · Cheddar