Verfahren und System zur Bestimmung einer oder mehrerer Optischer Eigenschaften einer Struktur eines Halbleiterwafers
EP2826063
Art A1
21. Januar 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2826063
- Aktenzeichen
- EP13736315
- Anmeldetag
- 9. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 21. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
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