Sensoranordnung aus Trägersubstrat und Ferroelektrischer Schicht sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung der Sensoranordnung

EP2826069 Art B1 17. Februar 2016

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2826069
Aktenzeichen: EP13716183
Anmeldetag: 9. März 2013
Veröffentlichung: 17. Februar 2016
Erteilung: 17. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/51G01L9/00G01L1/12G01N3/08H01L41/113

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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