Mikrovorrichtung mit Elektromagnetischer Strahlung, Wafer-Element und Verfahren zur Herstellung eines Derartigen Mikrovorrichtung

EP2828629 Art B1 16. Juni 2021

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2828629
Aktenzeichen
EP12715335
Anmeldetag
23. März 2012
Veröffentlichung
16. Juni 2021
Erteilung
16. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02B1/115G01J5/20G01J5/08G01J5/02G01J5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

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