Betriebsbegrenzungsvorrichtung, Betriebsbegrenzungsverfahren und Computerprogramm

EP2833285 Art B1 26. August 2020

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2833285
Aktenzeichen: EP13769870
Anmeldetag: 29. März 2013
Veröffentlichung: 26. August 2020
Erteilung: 26. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G06F21/40G06F16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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