Monolithische Integration von Cmos- und Siliciumfreien Vorrichtungen

EP2834850 Art B1 14. Oktober 2020

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2834850
Aktenzeichen
EP13773070
Anmeldetag
4. April 2013
Veröffentlichung
14. Oktober 2020
Erteilung
14. Oktober 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/8238H01L21/44H01L21/762H01L25/00H01L21/8258
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Massachusetts Institute of Technology
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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