Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur mit hinterschnittener Seitenwand

EP2835687 Art B1 15. März 2017

Anmelder: AMS AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2835687
Aktenzeichen: EP13179420
Anmeldetag: 6. August 2013
Veröffentlichung: 15. März 2017
Erteilung: 15. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AMS AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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