Speicherung und Stabilisierung von Acetylen

EP2836286 Art A1 18. Februar 2015

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2836286
Aktenzeichen
EP13775356
Anmeldetag
13. April 2013
Veröffentlichung
18. Februar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/02C01B31/08F17C11/00F17C13/12B01J20/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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