Temperaturregelung in einem Euv-Fotomasken-Inspektionswerkzeug
EP2836817
Art A1
18. Februar 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2836817
- Aktenzeichen
- EP13776111
- Anmeldetag
- 8. April 2013
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/33G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
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