Verfahren zur Abscheidung von Mangan und Mangannitriden

EP2837022 Art B1 6. Juni 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2837022
Aktenzeichen: EP13775715
Anmeldetag: 12. April 2013
Veröffentlichung: 6. Juni 2018
Erteilung: 6. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/318H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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