System und Verfahren zur Aufbereitung eines Degradierten Bildsensors durch Extreme Uv-Strahlung oder Tiefe Uv-Strahlung
EP2837174
Art A1
18. Februar 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2837174
- Aktenzeichen
- EP13775277
- Anmeldetag
- 12. April 2013
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H04N5/335G01M11/00G01N21/88G01J1/42G01J1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte