Verfahren zur Herstellung eines Hochreinen Kupfer-Mangan-Legierungs-Sputtertarget

EP2837710 Art B1 15. Mai 2019

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2837710
Aktenzeichen
EP12831198
Anmeldetag
5. September 2012
Veröffentlichung
15. Mai 2019
Erteilung
15. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C9/05H01L21/285H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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