Interferometrische Messvorrichtung kombiniert mit einer nicht-interferometrischen Messvorrichtung, und Messverfahren

EP2840352 Art A1 25. Februar 2015

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2840352
Aktenzeichen
EP14002894
Anmeldetag
20. August 2014
Veröffentlichung
25. Februar 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/02G01B11/24G01B9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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