Verfahren zum Polieren eines Siliciumwafers

EP2840591 Art B1 1. Januar 2020

Anmelder: Kao Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2840591
Aktenzeichen: EP13778433
Anmeldetag: 16. April 2013
Veröffentlichung: 1. Januar 2020
Erteilung: 1. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306B24B37/04C09K3/14C09G1/02H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kao Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von