Verfahren und Donorträger zur Herstellung einer Halbleiterbaugruppe mit lichtinduziertem Transfer
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Koninklijke Philips N.V., Coherent Europe B.V., Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2843079
- Aktenzeichen
- EP13182352
- Anmeldetag
- 30. August 2013
- Veröffentlichung
- 4. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/14C23C14/28H01L21/02
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Koninklijke Philips N.V.
Coherent Europe B.V.
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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V.O · Den Haag