Verfahren zur Oberflächenbehandlung von dünnen Diamantschichten

EP2843080 Art B1 5. Januar 2022

Anmelder: Yokogawa Electric Corporation, WASEDA UNIVERSITY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2843080
Aktenzeichen: EP14182119
Anmeldetag: 25. August 2014
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Erteilung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/27C23C16/56H01L21/30H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Yokogawa Electric Corporation
WASEDA UNIVERSITY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yokogawa Electric

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Mess-, Steuerungs- und Automatisierungstechnik für Industrieprozesse sowie elektronische Messgeräte entwickelt und herstellt.

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🇯🇵 Waseda University

Waseda University ist eine private japanische Universität mit Sitz in Tokio und breitem ingenieurwissenschaftlichem Forschungsprofil. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente, Medizintechnik und Gesundheit sowie Mess- und Werkstofftechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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