Verfahren zur Messung von C-V-Eigenschaften
EP2843694
Art B1
3. April 2019
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2843694
- Aktenzeichen
- EP13781025
- Anmeldetag
- 19. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 3. April 2019
- Erteilung
- 3. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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