Verfahren zur Dotierstoff-Implantation von FinFET Strukturen
EP2843696
Art A1
4. März 2015
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2843696
- Aktenzeichen
- EP13181803
- Anmeldetag
- 27. August 2013
- Veröffentlichung
- 4. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/8234H01L21/8238
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Clerix, André
Leuven, Belgien
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