Verfahren und Vorrichtung zum Aufwärmen einer Vakuumpumpanordnung

EP2844879 Art A2 11. März 2015

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2844879
Aktenzeichen
EP13719145
Anmeldetag
24. April 2013
Veröffentlichung
11. März 2015
Rechtsraum
EP
IPC
F04C25/02F04C28/06F04D27/00F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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