Kissen für Chemisch-Mechanisches Polieren mit Hochabrasiver Körnerverstärkung
EP2845221
Art B1
20. September 2017
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2845221
- Aktenzeichen
- EP13784423
- Anmeldetag
- 6. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 20. September 2017
- Erteilung
- 20. September 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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