Wafer-Behälter mit Türschnittstellendichtung
EP2845223
Art A1
11. März 2015
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2845223
- Aktenzeichen
- EP13784362
- Anmeldetag
- 6. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 11. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673B65D85/30F16J15/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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