Verfahren und vorrichtung für ein system zur steuerung eines strömungsverhältnisses in mehreren kanälen

EP2845921 Art B1 29. Juni 2016

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2845921
Aktenzeichen: EP14194712
Anmeldetag: 28. September 2012
Veröffentlichung: 29. Juni 2016
Erteilung: 29. Juni 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/52C23C16/455G05D11/13H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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