Anordnung mit einer Turbomolekularpumpe sowie Verfahren zur Kompensation eines Magnetfeldes wenigstens eines in einer Turbomolekularpumpe angeordneten, ein magnetisches Störfeld erzeugenden Bauteiles
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2848816
- Aktenzeichen
- EP14183255
- Anmeldetag
- 2. September 2014
- Veröffentlichung
- 18. April 2018
- Erteilung
- 18. April 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D27/02F04D29/66F04B37/14F04B37/08H01J37/32// F04D29/058F04D25/06
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einer Vaku-umpumpe mit einem Rotor und mit einem zum Antrieb des Rotors vorgesehenen Motor, bei der wenigstens eine Kompensa-tionsspule zur Kompensation eines von einem Bauteil der Vakuumpumpe erzeugten magnetischen Störfeldes B St vorgesehen ist. Die Erfindung betrifft darüber hinaus ein Verfah-ren zur Kompensation eines magnetischen Störfeldes wenigs-tens eines in einer Vakuumpumpe angeordneten, ein magnetisches Störfeld erzeugenden Bauteiles, bei dem wenigstens eine Kompensationsspule das magnetische Störfeld B St des wenigstens einen Bauteiles der Vakuumpumpe kompensiert.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Patentanwaltskanzlei Knefel & Knefel wurde 1964 in Wetzlar gegründet und 1994 zur Sozietät ausgebaut; die Leitung liegt seit 1997 bei der Gründertochter. Inhabergeführt mit mathematisch-physikalischem Fachprofil, begleitet sie Mandanten auch beim Arbeitnehmererfinderrecht.