Optimiertes Verfahren zur Herstellung von Motiven aus Halbleitermaterial III-V auf einem Halbleitersubstrat

EP2849208 Art A1 18. März 2015

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2849208
Aktenzeichen
EP14184234
Anmeldetag
10. September 2014
Veröffentlichung
18. März 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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