Substratüberprüfung
EP2850385
Art A1
25. März 2015
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2850385
- Aktenzeichen
- EP13790078
- Anmeldetag
- 15. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 25. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/25G01N21/958G01N21/956G01N21/47G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
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16
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