Laserbetriebene Lichtquelle

EP2851934 Art B1 16. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2851934
Aktenzeichen: EP14185633
Anmeldetag: 19. September 2014
Veröffentlichung: 16. November 2022
Erteilung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J65/04G02B6/14G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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