Polierzusammensetzung, Polierverfahren damit und Verfahren zur Herstellung eines Substrats

EP2851937 Art A1 25. März 2015

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2851937
Aktenzeichen: EP13790468
Anmeldetag: 4. April 2013
Veröffentlichung: 25. März 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105B24B37/04C09K3/14H01L21/762C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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